double exposition de surface de travail avec 500x500mm, unifomity nature de degré léger > = 80 %
méthode de contrôle avec la modularisation de l'ordinateur, en utilisant de façon pratique, en même temps, fournissant la production normale
vide le système, le système de lampe-maison, système et ainsi de suite, économique et disponible
costume d'obturation à la situation du comite de surface double traitement avec précision générale