Ligne de revêtement Transparent AZO conductrice
bref introduction:
l'horizontal/vertical continu magnétron sputtering ligne de revêtement AZO film se compose de 7 chambres, c'est-à-dire chambre d'entrée, chambre de transition mise en tampon avant, fore-transmission chambre, chambre de dépôt Sputtering, chambre après la transmission, poster chambre de transition mise en mémoire tampon, la chambre de sortie, respectivement. Deux paires de cibles de jumeaux MF Si PUC04 fermée boucle contrôle qualité couche isolée de SiO2. Équipé de 10 paires de AZO objectif rotatif pour se rendre compte de la qualité AZO film conducteur transparent, la ligne de machine conçue pour la dimension de substrat verre 1100mm de largeur et 1 400 mm de longueur avec le cycle de production optimisée à 100-180 secondes. En outre, avec groupe de turbo-pompe équipée pour l'isolement de gaz efficace dans la conception, il obtient d'isolation très efficace contre la contamination, stable, vitesse et uniforme de distribution de gaz de l'opération de pompage.
