Pureté Grade 99.9%~99.999%
Formula CF4
demande
tétrafluorométhane est parfois utilisé comme frigorigène basse température. Il est utilisé en électronique microfabrication seul ou en combinaison avec l'oxygène comme un mordançage de plasma pour le silicium, dioxyde de silicium et nitrure de silicium.
Tétrafluorure de carbone nom alternatif, Perfluorométhane, Tetrafluorocarbon, fréon 14, Halon 14, Arcton 0, CFC 14, PFC 14, R 14, No ONU 1982
poids moléculaire 88.0043 g / mol
No. CAS 75-73-0
Package 44 L 49 L