Chauffages en céramique de substrat en céramique de niride d'aluminium (AlN)

Caractéristique:
(1) Conductivité thermique élevée, qui est plus de 5 fois celle de la céramique d'alumine.
(2) Faible coefficient de dilatation thermique, proche de la puce de silicium.
（3）Permittivité inférieure.
(4) Excellentes performances d'isolation.
（5）Excellentes propriétés mécaniques. La résistance à la flexion est supérieure à celle des céramiques Al2O3 et BeO et pourrait être un frittage atmosphérique ;
(6) Résistance à la chaleur, résistance à la corrosion du métal en fusion.