MTCS2601 matrice de détection au silicium dans un boîtier en céramique SMD
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Les capteurs MTCS2601 consistent en un capteur de conductivité thermique micro-usiné utilisant quatre résistances Ni-Pt réalisées à l'aide de technologies MEMS. Le capteur est monté dans un boîtier SMD miniature, disponible sur bande et réel. Ce capteur MEMS TC, associé à des circuits intégrés standard CMOS simples et à faible consommation, constitue un excellent choix pour les détecteurs OEM à fuites de dimensions critiques ou les vacuomètres miniatures basés sur le principe de Pirani nécessitant une consommation énergétique extrêmement faible, une longue durée de vie et aucun entretien. Les applications sont le contrôle de la pression primaire dans un environnement difficile avec des contraintes de puissance et de taille, ou la détection en volume fermé de fuite de gaz ou d'humidité, ou d'intrusion.
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Applications du capteur de conductivité thermique MTCS2601
• Contrôle du vide primaire suivant le principe de Pirani. Ce capteur s’ajoute facilement dans une vanne de pression ou directement dans les tuyaux ou systèmes à vide, tels que les petits systèmes de pompage mécanique, les machines à vide et les instruments d’analyse.
• Capteur SMD miniature de fuite en tant qu’intégrité de contrôle de systèmes fermés ou d’instruments sous pression spécifique, capable de:
détecter les défauts tels que la corrosion ou simplement l'ouverture des boîtes (cellules de charge, systèmes à volant d'inertie, Dewar…)
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Capteur de conductivité thermique MTCS2601 Caractéristiques
• Capteur de conductivité thermique pour la mesure du vide primaire
• Dispositif silicium dans un boîtier en céramique SMD. Livraison en bande et bobine
• Petite dimension compatible avec la mesure en très petit volume
• Faible consommation d’énergie et constantes de temps courtes
• Sensibilité optimale dans la plage 10-2 à 10 + 2 mbar. Extension possible dans la gamme 10-4 à Patm
• faible coût pour l'application de volume
• Capteur MEMS robuste suivant le principe physique de Pirani (fil chaud) sans réaction chimique, basé sur la variation de la conductivité thermique du gaz en fonction de la pression
• Plage de mesure de 10-4 à 1000 mbar avec une excellente reproductibilité
• Compensation de la température avec un excellent ajustement des résistances de compensation et de chauffage sur la même matrice en silicium
• Volume de gaz extrêmement faible, tel que 30'000 hs) grâce aux principes de la détection de la résistance physique
• Consommation de capteur à très faible puissance en fonctionnement (
